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iXH1210HT爱德华干泵维修


iXH1210HT爱德华干泵维修

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edwards iXH系列干泵产品是Edwards的市场领先iH产品的换代升级,为严苛制程能力树立了新标准,它在世界上的许多300mm半导体和平板工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。可满足 FPD、太阳能、半导体和LED制造业中日益提高的气体流量要求的完美大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外,这些泵还配备多种特性以确保在严苛制程中具有最大可靠性。

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edwards iXH泵采用模块化设计,符合 当今的制程要求,并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战有着路线明确的应对计划。
应用
半导体的目标应用包括:
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI
FPD 的目标应用包括:
PECVD
TCO
刻蚀
传输腔

主要特性和优势
针对先进的EPI和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。
大容量干泵和增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。
占地面积更小,高度更低,便于在任何工厂中安装。
符合主要的国际标准,包括UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。

爱德华干泵维修小结:
1.必须先泵浦外观现象是否有破损,如有破损需告知使用单位。
2.通电之前还得通水,通水之前必须检测你所有的接头是否有漏水现象,以免烧毁电路板及马达。
3.拆解泵浦,拆解之前必须分清楚螺丝部位,长度,大小,以免组装时发生错误。
4.拆解过程中必须要细心,转子是否有磨损,盖板是否有损伤,缸璧是否有划伤。
5.拆解时有的是带控制电箱,有的是没有的,所以特别分清楚,控制部分特别注意,不要损坏电路板之内的。
6.拆解完毕之后我们要清洗,喷砂,烘烤,组装,所以拆解时配件必须摆放整齐,以至于组装时方便。
7.用超声波清洗机将所有的零件放在里面将其零件清洗,清洗完毕之后,在放入烤箱烘烤。
8.喷砂,喷砂有几种喷砂机,如果是湿式喷砂机更为方便,所有的配件及腔体,盖板都检查完毕。
9.组装过程中必须检查所有的转子尺寸是否达标,符合这台真空泵使用尺寸,这个会直接导致你维修真空泵质量是否达标。
10.组装过程中轴封及轴承组装必须到位,如果不到位会影响你真空泵维修质量及使用寿命。
11.组装过程中发现有转子及轴套尺寸不到位应该停止马上处理,工作第一次做到位,不必返工。
12.装好之后我们要进行调试间隙。
13.调试间隙时你螺丝需要按照标准锁多少磅就是多少磅,以免使用过程中松动导致真空泵卡死。
14.间隙调试完毕,就组装马达及管路,加油测试。
15.测试也是最关键时候,也是对你劳动成果的肯定。
16.测试之前确定电压,以便电机烧毁,确认无误在通电。
17.通电之前先测试电机是否正传还是反转,如果反转三根线当中,随便两根互换及可。
18.相位及电压对了之后,我们可以接真空表头,看看真空度及,抽速是否达标。
19.没有通气,通水时不宜测试时间过长,以便于电机温度过高导致烧毁。
20.上架时有的气管接头,水管接头必须检查,是否有划伤,如有需处理及更换。
21.上架好之后通水,通电,通气所有都检查完毕,方可通电。

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iXH1210HT爱德华干泵维修 更新时间:2017-11-08
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