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真空泵维修技术：分子泵维修故障出现状况，对于真空泵的检查细节，以及维修操作解决方法。各种分子泵维修，如维修涡轮分子泵，维修磁悬浮分子泵，普发分子泵维修等。
| 真空泵故障现象 | 真空泵检查 | 维修操作 |
| 系统通电时，LED没有闪烁0.5秒 | 电源是否出现故障 | 确保电源已打开并且保险丝（及限流设备）未松开。 |
| 发送并行“启动”命令后泵不旋转 | 检查电源是否打开并且故障输出是否活动 | 如果有故障信号，应检查橙色状态LED是否闪烁。如果出现闪烁，则应参见章节5.5.1.如果电源已打开、没有故障信号并且转轴任然不旋转，则表示泵出现故障。 |
| 发送串行“启动”命令后泵不旋转 | 检查泵是否回复“启动”命令 | 如果没有回复，则应检查串行通信链接是否通电并且“串行启用”是否激活以及电源是否打开。检查橙色状态LED是否闪烁。 |
| 泵在多站模式下不响应 | 检查是否启用多站模式 | 确保泵有多站地址并且使用多站协议发送命令。 |
| 橙色状态LED闪烁错误代码 | 注意每个序列6下闪烁中长闪烁的位置，以解读错误代码。 | 查阅相关错误代码并按照所提供的说明进行操作 |
| 运行时额定LED不亮或泵没有以全速旋转或泵出现故障 | 入口压力是否过高？ | 如果是这样，应减小抽取负载或检查系统是否有大泄漏。 |
| 泵运行时是否太热？ | 增加泵的冷却。可能需要从通风冷却变成水冷。可能需要增大冷却水流量或降低水温或同时采取这两种措施。检查外部热源确保没有辐射过多热量。 | |
| 转轴旋转是否顺畅？ | 如果不是，泵轴承可能已损坏。 | |
| 无法达到极限压力 | 压力是否因水蒸气而受限？ | 烘烤系统和泵。 |
| 是否任何真空压力表有污物？ | 如果是这样，应清洁或更换。 | |
| 抽取速度是否不足（由于泵和压力表接触不良或中间有太大的腔）？ | 使其接触良好或减小体积。 | |
| 层间入口压力是否>0.5mbar(50pa) | 如果层间入口压力太大，涡轮分子泵上的入口压力会增大；应确保层间入口压力<0.5mbar(50 pa)。 | |
| 前级压力是否>10mbar? | 如果是这样，前级压力可能太大。检查后备管道是否有泄漏。如果对处理能力要求较高，则可能需要更大的后备泵。 | |
| 系统的高真空区域是否有污物？ | 如果是这样，应清洁高真空系统。 | |
| 检查系统的其它部分是否有泄漏或污物。 | 如果发现有，则应修补泄漏处并清除污物。 | |
| 泵噪音很大或振动过大或两种情况同时出现 | 泵转速与所连接系统的共振频率是否相同？ | 如果是这样，则应更改系统的固有频率或使用活动风箱隔离泵。 |
| 震动是从转动的后备泵传递过来的吗？ | 如果是这样，则应在后备线路中安装活动风箱或隔振器。 | |
| 噪音是不是不规则并且越来越糟糕？ | 如果是这样，则表示轴承有瑕疵。 | |
| 泵是不是发出持续的啸叫？ | 如果是这样，则表示转轴失衡。 | |
| 真空泵故障现象 | 真空泵检查 | 维修操作 |
| 系统通电时，LED没有闪烁0.5秒 | 电源是否出现故障 | 确保电源已打开并且保险丝（及限流设备）未松开。 |
| 发送并行“启动”命令后泵不旋转 | 检查电源是否打开并且故障输出是否活动 | 如果有故障信号，应检查橙色状态LED是否闪烁。如果出现闪烁，则应参见章节5.5.1.如果电源已打开、没有故障信号并且转轴任然不旋转，则表示泵出现故障。 |
| 发送串行“启动”命令后泵不旋转 | 检查泵是否回复“启动”命令 | 如果没有回复，则应检查串行通信链接是否通电并且“串行启用”是否激活以及电源是否打开。检查橙色状态LED是否闪烁。 |
| 泵在多站模式下不响应 | 检查是否启用多站模式 | 确保泵有多站地址并且使用多站协议发送命令。 |
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| 运行时额定LED不亮或泵没有以全速旋转或泵出现故障 | 入口压力是否过高？ | 如果是这样，应减小抽取负载或检查系统是否有大泄漏。 |
| 泵运行时是否太热？ | 增加泵的冷却。可能需要从通风冷却变成水冷。可能需要增大冷却水流量或降低水温或同时采取这两种措施。检查外部热源确保没有辐射过多热量。 | |
| 转轴旋转是否顺畅？ | 如果不是，泵轴承可能已损坏。 | |
| 无法达到极限压力 | 压力是否因水蒸气而受限？ | 烘烤系统和泵。 |
| 是否任何真空压力表有污物？ | 如果是这样，应清洁或更换。 | |
| 抽取速度是否不足（由于泵和压力表接触不良或中间有太大的腔）？ | 使其接触良好或减小体积。 | |
| 层间入口压力是否>0.5mbar(50pa) | 如果层间入口压力太大，涡轮分子泵上的入口压力会增大；应确保层间入口压力<0.5mbar(50 pa)。 | |
| 前级压力是否>10mbar? | 如果是这样，前级压力可能太大。检查后备管道是否有泄漏。如果对处理能力要求较高，则可能需要更大的后备泵。 | |
| 系统的高真空区域是否有污物？ | 如果是这样，应清洁高真空系统。 | |
| 检查系统的其它部分是否有泄漏或污物。 | 如果发现有，则应修补泄漏处并清除污物。 | |
| 泵噪音很大或振动过大或两种情况同时出现 | 泵转速与所连接系统的共振频率是否相同？ | 如果是这样，则应更改系统的固有频率或使用活动风箱隔离泵。 |
| 震动是从转动的后备泵传递过来的吗？ | 如果是这样，则应在后备线路中安装活动风箱或隔振器。 | |
| 噪音是不是不规则并且越来越糟糕？ | 如果是这样，则表示轴承有瑕疵。 | |
| 泵是不是发出持续的啸叫？ | 如果是这样，则表示转轴失衡。 |
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