干式真空泵维修内部清洗方法

干式真空泵维修是具有耐腐蚀性能的泵，是专为输送含有细颗粒的腐蚀性介质而设计开发的，因为其独特的生产设计，使其具有耐磨性、耐冲击性、抗蠕变性和极好的耐腐蚀性，干式真空泵在使用一段后都是需要进行内部清理，这也是为了延长它的使用时间，保证使用效果，进行内部清理的时候需要做的工作有以下几点。
1、刮去叶轮内外表面及密封环和轴承等处所积存的水垢及铁锈等物，再用水或压缩空气清洗、吹净。
2、清理壳体各接合表面上积存的油垢和铁锈。
3、检查管内是否畅通并清理水封管。
4、清理轴瓦及轴承，除去油垢，再清洗油圈及油面计等，滚珠轴承要用汽油清洗。
5、暂时不进行装配的零、部件，在清洗后都要及时的涂油保护。
干式真空泵维修的内部清洗不仅是可以延长泵的使用寿命更重要的是可以减少企业损失，保证生产的顺利进行。

干式真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：
1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；
5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
干式真空泵维修首先我们要先用专业的检测设备检测，然后用专业的拆卸工具拆解，从多个方面了解才可以得出一个经济又保值保量的真空泵维修方案。

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